近日,湖南能源集團(tuán)所屬湖南普照信息材料有限公司(以下簡稱“普照材料”)承擔(dān)的湖南省高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)科技創(chuàng)新引領(lǐng)計(jì)劃“高精度石英掩膜基版樣品試制項(xiàng)目”順利通過湖南省科技廳驗(yàn)收,獲評價(jià)結(jié)論“優(yōu)秀”。
湖南省科技創(chuàng)新計(jì)劃項(xiàng)目是圍繞湖南省科技、經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展重大戰(zhàn)略,面向科技前沿、面向經(jīng)濟(jì)建設(shè)主戰(zhàn)場、面向湖南省重大科技需求,專門用于支持基礎(chǔ)研究、技術(shù)研發(fā)、成果轉(zhuǎn)化以及其他創(chuàng)新能力提升的科技活動(dòng)。
項(xiàng)目驗(yàn)收采用同行評議、第三方評估和測試、用戶評價(jià)、現(xiàn)場核查等方式開展一次性綜合績效評價(jià)。
普照材料“高精度石英掩膜基版樣品試制項(xiàng)目”總投資約2000萬元,通過自主研發(fā)和合作開發(fā),達(dá)成了TFT用石英基板產(chǎn)品平面度和平行度高性能指標(biāo)要求,攻克了Thin film膜系及PSM鉬硅膜系關(guān)鍵核心技術(shù),為建設(shè)中的8.5代及以下高精度掩?;屙?xiàng)目實(shí)施提供了關(guān)鍵技術(shù)支持,同時(shí)為公司產(chǎn)品向半導(dǎo)體用掩?;宓?jí)打下堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
下階段,普照材料將持續(xù)加大新技術(shù)、新工藝的研發(fā)應(yīng)用投入,加強(qiáng)研發(fā)平臺(tái)建設(shè),形成“以屏帶芯,屏芯齊進(jìn)”的戰(zhàn)略布局,為我國平板顯示與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展貢獻(xiàn)力量。